| 发明名称 | 多组分沉积 | ||
| 摘要 | 物理气相沉积被一种或多种有机金属化合物的化学气相沉积加强以沉积多组分材料。所述有机金属化合物可以是羰基化合物。本工艺可被用以在超合金涡轮机部件上沉积涂层和修复材料。 | ||
| 申请公布号 | CN1693534A | 申请公布日期 | 2005.11.09 |
| 申请号 | CN200510069697.9 | 申请日期 | 2005.05.08 |
| 申请人 | 联合工艺公司 | 发明人 | A·V·马克霍特金;I·S·马拉申科;I·V·贝洛索夫 |
| 分类号 | C23C16/448;C23C16/06;C23C16/18;C23C16/52 | 主分类号 | C23C16/448 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 廖凌玲 |
| 主权项 | 1、一种用于将沉积材料(110；212)沉积到部件(20；210)上的方法，包括：将所述部件置于沉积室(50)中；通过电子束加热使用于形成沉积材料的一种或多种第一组分(66)汽化；以及使用于提供与第一组分共同沉积在部件上的沉积材料中的一种或多种第二组分的一种或多种有机金属化合物(102；202)汽化。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||