发明名称 | 低气压多波长XeF准分子激光器 | ||
摘要 | 一种低气压多波长XeF准分子激光器,由放电室,平行平板电容器,平行平板电容器,触发球隙,高压电源,小电感线圈,全反谐振腔镜和输出谐振腔镜组成的准分子激光器,其特征在于:所述的放电室的放电阳极和放电阴极铜圆柱面的刀口电极并分别与平行平板电容器的C<SUB>1</SUB>和C<SUB>2</SUB>相接,该放电阳极刀口的曲率半径R的取值范围是1.5-3毫米,放电阴极刀口的曲率半径R的取值范围是1-1.5毫米;该放电室内充入以氦为主的混合气体,充气压为300mmHg-400mmHg,实验证明本实用新型低气压多波长XeF准分子激光器能辐射高亮度的丰富的紫外单色谱线,其亮度比氙灯或汞灯中的同一谱线要高2~4个量级以上。在生物、材料方面有着广泛用途。充气压为300mmHg。 | ||
申请公布号 | CN2739847Y | 申请公布日期 | 2005.11.09 |
申请号 | CN200420091195.7 | 申请日期 | 2004.10.19 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 陈建文;高鸿奕;徐至展 |
分类号 | H01S3/02;H01S3/00 | 主分类号 | H01S3/02 |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 1、一种低气压多波长XeF准分子激光器,由放电室(1),平行平板电容器(2),平行平板电容器(3),触发球隙(4),高压电源(5),小电感线圈(6),谐振腔镜(7)和输出谐振腔镜(8)组成的准分子激光器,其特征在于:所述的放电室(1)的放电阳极(11)和放电阴极(12)为铜圆柱面的刀口电极并分别与平行平板电容器(3)的C1和C2相接,该放电阳极(11)刀口的曲率半径R的取值范围是1.5-3毫米,放电阴极(12)刀口的曲率半径R的取值范围是1--1.5毫米;该电极的上、下面由K9玻璃用环氧密封,电极两端用石英布儒斯特窗口密封形成放电室;该放电室(1)内充入以氦为主的混合气体,充气压为300mmHg-400mmHg,该混合气体其组成mol%是:NF3 1-1.5Xe 1.5-2.0He 其余量;所述的输出谐振腔镜(8)为50%反射率的介质膜片。 | ||
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