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发明名称 RUN BOX USED IN FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050106243(A) 申请公布日期 2005.11.09
申请号 KR20040031416 申请日期 2004.05.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, HAE GYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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