发明名称 |
半导体器件、图案生成方法、制造方法及图案生成装置 |
摘要 |
提供一种能够有效地吸收电源噪声、能够实现电路的稳定操作的半导体集成电路器件,具体地,能够在噪声产生源附近吸收噪声的半导体集成电路器件。半导体集成电路器件具有至少一个电路模块。半导体集成电路器件包括具有在电路模块上形成的第一导体层1a和在第一导体层1a上形成的第二导体层1b以及其间插入的电容器绝缘膜1c的旁路电容器。旁路电容器的第一和第二导体层的一个通过固定衬底电位的衬底接触连接到接地线路或电源线路的一个,另一个连接到电源线路或接地线路的另一个。 |
申请公布号 |
CN1694254A |
申请公布日期 |
2005.11.09 |
申请号 |
CN200510076262.7 |
申请日期 |
2005.04.12 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
向井清士;辻川洋行 |
分类号 |
H01L27/02;H01L21/82;G06F17/50 |
主分类号 |
H01L27/02 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.至少具有一个电路模块的半导体集成电路器件,包括:旁路电容器,具有第一线路层和在第一线路层上形成的第二线路层,之间插入电容器绝缘膜,其中所述第一和第二线路层分别连接到两个电源线,两个电源线连接到电路模块并具有不同的电位。 |
地址 |
日本大阪府 |