发明名称 A method of forming a metal gate structure with tuning of work function by silicon incorporation
摘要
申请公布号 GB0519796(D0) 申请公布日期 2005.11.09
申请号 GB20050019796 申请日期 2004.04.19
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3215;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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