| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA GENERATOR AND APPARATUS FOR ETCHING AN EDGE OF A SUBSTRATE WITH THE GENERATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050106205(A) |
申请公布日期 |
2005.11.09 |
| 申请号 |
KR20040031368 |
申请日期 |
2004.05.04 |
| 申请人 |
SEMES CO., LTD. |
发明人 |
KIM, IN JUN;CHO, JUNG KEUN;CHOI, JANG SEUB |
| 分类号 |
H01L21/3063;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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