高g值加速度计

摘要

本发明公开了一种高g值加速度计，该加速度计由加速度敏感梁、两块电路板和SOI硅微固态压阻芯片构成；该加速度敏感梁上有对称的台阶，两块电路板对称粘接在台阶上，SOI硅微固态压阻芯片设置在加速度敏感梁的中间，硅微固态压阻芯片与两块电路板通过引线连接。本发明采用双端固定的加速度敏感梁和硅隔离SOI硅微固态压阻芯片构成硅微应变固态压阻高g值传感器，解决了穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统的高g值加速度测量问题。同时采用共晶焊接技术，解决了传感器迟滞问题。该加速度计传感器具有量程高、动态特性好、耐侯性强以及测量精度高、高过载等特点，能够满足穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统高g值加速度的测量需要。

主权项

1.一种高g值加速度计，其特征在于，该加速度计由加速度敏感梁(1)、两块电路板(2、3)和SOI硅微固态压阻芯片(4)构成；该加速度敏感梁(1)上有对称的台阶，其两端有定位槽，两块电路板(2、3)对称粘接在台阶上，SOI硅微固态压阻芯片(4)设置在加速度敏感梁(1)的中间，SOI硅微固态压阻芯片(4)与两块电路板(2、3)通过引线(5)连接。