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经营范围
发明名称
Bottom anti-reflective coat forming composition for lithography
摘要
申请公布号
EP1237042(B1)
申请公布日期
2005.11.09
申请号
EP20020003280
申请日期
2002.02.22
申请人
NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
发明人
ARASE, SHINYA;KISHIOKA, TAKAHIRO;MIZUSAWA, KEN-ICHI
分类号
G03F7/038;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/09
主分类号
G03F7/038
代理机构
代理人
主权项
地址
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