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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 EP0990267(B1) 申请公布日期 2005.11.09
申请号 EP19990902766 申请日期 1999.02.22
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 KNOTTER, DIRK, M.;VAN DE VORST, ANTONIUS, A., M.
分类号 G01B17/02;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B17/02
代理机构 代理人
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