发明名称 Deposition
摘要
申请公布号 GB0519746(D0) 申请公布日期 2005.11.09
申请号 GB20050019746 申请日期 2005.09.28
申请人 MACRON INTERNATIONAL GROUP LTD 发明人
分类号 H01L31/0296;H01L31/08;H01L31/18 主分类号 H01L31/0296
代理机构 代理人
主权项
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