复合膜低温等离子体集成发生器

摘要

本实用新型提供一种复合膜低温等离子体集成发生器，其介电质为高分子复合膜，新增冷却器和冷却仓并实现发生器集成化。有益效果是该复合膜等离子体发生器具有软质高分子聚合膜介电结构，结构体积和介电系数可调，在－100℃以下～250℃连续工作，有良好的机械性能、耐辐射性、阻燃性、化学稳定性和广泛的发生器及电源的匹配性，提高发生器的浓度纯度及产率，提高介电质效率，缩减介电材料的体积和功耗，减少电耗50％以上，避免炸裂击穿现象，提高安全可靠性。适用于医疗卫生、饮食品工业、水处理、空气净化、内燃机及汽车工业、能源及环境保护等行业领域。

主权项

1、一种复合膜低温等离子体集成发生器，包括有电源、至少一组相互设有间隔的两极放电导体、在两极放电导体上设有气体进出接口、接口处配合设置的密封件、在两极放电导体其中一极密封为带有冷却介质循环进出接口和冷却器的内冷却仓，另一极外侧设带有风机的外导流冷却仓、在外侧的放电导体周围设有散热器，其特征是：在所述两极放电导体的中间或其一侧设有高分子聚合复合膜(1)。