平板夹持装置

摘要

本发明涉及一种夹持装置，尤其是一种可以在制造LCD、PDP或有机EL等平板显示器时固定玻璃基板之类的平板以及在各工序之间移动时有效地支持基板的夹持装置。本发明的平板夹持装置可以夹持基板(12)，基板(12)位于可控升降的底座(10)上面，夹持板(20)在底座上方进行水平运动，在夹持板(20)的底面形成多个孔(22)，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜(24)或弹性板，在弹性膜(24)或弹性板的底面固定粘接膜(26)，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀，弹性板调节装置则可以使弹性板上下运动并弯曲突出。本发明的结构简单，可以在真空中使用，减少耗电量，还可以发挥轻易夹持较大面积平板的效果。

主权项

1.一种平板夹持装置，可以夹持位于可控升降的底座上边的平板，夹持板在底座上方进行水平运动，在夹持板的底面形成多个孔，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜，在弹性膜的底面形成粘接膜，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀。