发明名称 CONTROL OF JUNCTION DEPTH AND CHANNEL LENGTH USING GENERATED INTERSTITIAL GRADIENTS TO OPPOSE DOPANT DIFFUSION
摘要
申请公布号 KR100527207(B1) 申请公布日期 2005.11.09
申请号 KR20057002953 申请日期 2005.02.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/22;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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