| 发明名称 |
Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2398645(B) |
申请公布日期 |
2005.11.09 |
| 申请号 |
GB20040008389 |
申请日期 |
2002.11.20 |
| 申请人 |
* MKS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
JESSE * AMBROSINA;ISAO * SUZUKI;ALI * SHAJII |
| 分类号 |
G01F1/00;G01F1/684;G01F5/00;G01F15/04;G05D7/06;(IPC1-7):G01F5/00 |
主分类号 |
G01F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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