| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING WAFER PROCESSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050105808(A) |
申请公布日期 |
2005.11.08 |
| 申请号 |
KR20040031072 |
申请日期 |
2004.05.03 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, CHAN YOUNG |
| 分类号 |
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
