| 发明名称 |
APPARATUS FOR SUPPLYING CHEMICAL USING A SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050105830(A) |
申请公布日期 |
2005.11.08 |
| 申请号 |
KR20040031102 |
申请日期 |
2004.05.03 |
| 申请人 |
MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. |
发明人 |
KIM, DONG SU |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
