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发明名称
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT USING THE SAME, METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN, RESIST PATTERN AND SUBSTRATE HAVING THE RESIST PATTERN LAMINATED THEREON
摘要
申请公布号
KR100525984(B1)
申请公布日期
2005.11.08
申请号
KR20027005163
申请日期
2002.04.22
申请人
发明人
分类号
G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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