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发明名称 DEVELOPER/RINSE FORMULATION TO PREVENT IMAGE COLLAPSE IN RESIST
摘要
申请公布号 KR100527226(B1) 申请公布日期 2005.11.08
申请号 KR20020006687 申请日期 2002.02.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05D1/02;B05D7/00;G03F7/32;G03F7/40;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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