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发明名称 Silicon semiconductor substrate and method for production thereof
摘要
申请公布号 KR100526427(B1) 申请公布日期 2005.11.08
申请号 KR20020054571 申请日期 2002.09.10
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;H01L21/324;C30B15/00;C30B33/00;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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