发明名称 Method for forming composite vapor-deposited films with varied compositions formed in the initial and final stages of deposition, composite vapor-deposition material for the film and method for manufacture thereof
摘要
申请公布号 KR100526645(B1) 申请公布日期 2005.11.08
申请号 KR20000015086 申请日期 2000.03.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址