Method for Refining Nitrogen Trifluoride Gas,申请号KR20010076481-传众专利搜索

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发明名称	Method for Refining Nitrogen Trifluoride Gas
摘要
申请公布号	KR100526337(B1)	申请公布日期	2005.11.08
申请号	KR20010076481	申请日期	2001.12.05
申请人		发明人
分类号	B01D53/68;(IPC1-7):B01D53/68	主分类号	B01D53/68
代理机构		代理人
主权项
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