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发明名称
摘要
申请公布号 KR100504227(B1) 申请公布日期 2005.11.08
申请号 KR19970020157 申请日期 1997.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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