| 发明名称 | 632.8纳米波长的高衍射效率石英透射光栅 | ||
| 摘要 | 一种632.8纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，其特征在于该光栅的线密度为1575～1630线/毫米，光栅的深度为1.1～1.3微米，光栅的占空比为1/2，本发明可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于85％，实现了对偏振模式的自由选择。特别是当光栅密度为1575线/毫米，光栅深度为1.2微米时，TE和TM偏振模式的效率均大于93％；当光栅密度为1580线/毫米，光栅深度为1.1微米时，TE偏振模式下+1级布拉格透射衍射效率有最大值97.81％。本发明矩形刻蚀石英光栅由微电子光刻工艺、深刻蚀工艺加工而成，可以低成本地大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN1693930A | 申请公布日期 | 2005.11.09 |
| 申请号 | CN200510026559.2 | 申请日期 | 2005.06.08 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;张妍妍 |
| 分类号 | G02B5/18 | 主分类号 | G02B5/18 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种632.8纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，其特征在于该光栅高密度矩形深刻蚀光栅，其线密度为1575～1630线/毫米，光栅的深度为1.1～1.3微米，光栅的占空比为1/2。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||