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经营范围
发明名称
ALIGNMENT APPARATUS FOR WAFER IN ELECTRODES
摘要
申请公布号
KR20050105559(A)
申请公布日期
2005.11.04
申请号
KR20040030574
申请日期
2004.04.30
申请人
CI SCIENCE, INC.
发明人
KIM, YOUNG YUL
分类号
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
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