发明名称 |
Halbleiterstruktur und entsprechendes Herstellungsverfahren |
摘要 |
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申请公布号 |
DE19960563(B4) |
申请公布日期 |
2005.11.03 |
申请号 |
DE19991060563 |
申请日期 |
1999.12.15 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
PFIRSCH, FRANK;LASKA, THOMAS |
分类号 |
H01L21/334;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L21/334 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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