发明名称 FOCUS RING OF DRY ETCH DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050104440(A) 申请公布日期 2005.11.03
申请号 KR20040029389 申请日期 2004.04.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YI, JUNG HUI
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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