发明名称 Metall-Halbleiter-Kontakt, Halbleiterbauelement, integrierte Schaltungsanordnung und Verfahren
摘要
申请公布号 DE10217610(B4) 申请公布日期 2005.11.03
申请号 DE20021017610 申请日期 2002.04.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MAUDER, ANTON;STRACK, HELMUT;TIHANYI, JENOE;SCHULZE, HANS-JOACHIM;KAPELS, HOLGER
分类号 H01L21/285;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/167;H01L29/32;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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