发明名称 Herstellungsverfahren eines mikromechanischen optischen Schalters
摘要
申请公布号 DE60015987(T2) 申请公布日期 2005.11.03
申请号 DE20006015987T 申请日期 2000.08.01
申请人 ADC TELECOMMUNICATIONS, INC. 发明人 ZHANG, NAN
分类号 G02B26/02;B81B3/00;B81C1/00;G02B6/35;H02N1/00;(IPC1-7):G02B26/02;G02B6/26 主分类号 G02B26/02
代理机构 代理人
主权项
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