| 发明名称 |
Verfahren zur Detektion eines Objekts mit einem Rastermikroskop und Rastermikroskop zur Detektion eines Objekts |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10253108(B4) |
申请公布日期 |
2005.11.03 |
| 申请号 |
DE20021053108 |
申请日期 |
2002.11.13 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH |
发明人 |
WIDZGOWSKI, BERND |
| 分类号 |
G02B21/00;(IPC1-7):G12B21/20 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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