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发明名称
Methods and devices for enhancing bonded substrate yields and regulating temperature
摘要
申请公布号
AU2001269929(B2)
申请公布日期
2005.11.03
申请号
AU20010269929
申请日期
2001.06.18
申请人
CALIPER LIFE SCIENCES, INC.
发明人
DEREK LOUCH;MICHAEL R. SPAID;CARLTON BROOKS;DAVID CHAZAN;LUC J. BOUSSE
分类号
B01L3/00;B01L3/02;B01L7/00;B81C3/00;G01N27/26;(IPC1-7):B01L003/00;G01N027/26
主分类号
B01L3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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