发明名称 拉线、推球测试与晶片剪力测量的重复性与再现性测试工具
摘要 本发明为一种拉线、球剪力与晶片剪力测量的重复性与再现性测试装置,其中该拉线、球剪力与晶片剪力测量藉由一应力提供装置进行。该测试装置包括:一底座,其具有一支撑杆;一手臂,其可轴转地固定于该支撑杆上;至少一刻度,其形成于该手臂上,用以供该应力提供装置施一应力;以及一磁力产生装置,其设置于该底座,用以产生一可调制的磁力,以提供一拉力拉引该手臂的一端。如此,在该应力装置所施该应力时,使该手臂的该端得以脱离该磁力产生装置。
申请公布号 CN1225775C 申请公布日期 2005.11.02
申请号 CN02136846.5 申请日期 2002.09.06
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 简维廷
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 陈亮
主权项 1、一种测试装置,其应用于拉线、推球测试与晶片剪力测量的重复性与再现性测试中,其中该拉线、推球测试与晶片剪力测量藉由一应力提供装置进行,该测试装置包括:一底座,其具有一支撑杆;一手臂,其可轴转地固定于该支撑杆上,该手臂上还形成有多个刻度;以及一磁力产生装置,其设置于该底座,该磁力生装置与该支撑杆相地设置于该底座上,用以产生一可调制的磁力,以提供一拉力拉引该手臂的一端。
地址 201203上海市张江路18号