发明名称 |
拉线、推球测试与晶片剪力测量的重复性与再现性测试工具 |
摘要 |
本发明为一种拉线、球剪力与晶片剪力测量的重复性与再现性测试装置,其中该拉线、球剪力与晶片剪力测量藉由一应力提供装置进行。该测试装置包括:一底座,其具有一支撑杆;一手臂,其可轴转地固定于该支撑杆上;至少一刻度,其形成于该手臂上,用以供该应力提供装置施一应力;以及一磁力产生装置,其设置于该底座,用以产生一可调制的磁力,以提供一拉力拉引该手臂的一端。如此,在该应力装置所施该应力时,使该手臂的该端得以脱离该磁力产生装置。 |
申请公布号 |
CN1225775C |
申请公布日期 |
2005.11.02 |
申请号 |
CN02136846.5 |
申请日期 |
2002.09.06 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
简维廷 |
分类号 |
H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈亮 |
主权项 |
1、一种测试装置,其应用于拉线、推球测试与晶片剪力测量的重复性与再现性测试中,其中该拉线、推球测试与晶片剪力测量藉由一应力提供装置进行,该测试装置包括:一底座,其具有一支撑杆;一手臂,其可轴转地固定于该支撑杆上,该手臂上还形成有多个刻度;以及一磁力产生装置,其设置于该底座,该磁力生装置与该支撑杆相地设置于该底座上,用以产生一可调制的磁力,以提供一拉力拉引该手臂的一端。 |
地址 |
201203上海市张江路18号 |