发明名称 高浓度微粒浓缩物、高浓度微粒浓缩物制造方法、粉末及粉末制造方法
摘要 一种粉末制造装置,其由:处理CMP废水的过滤装置10和把通过过滤装置10浓缩至高浓度的淤浆加以干燥的真空冷冻干燥装置20构成,在过滤装置10中,在孔径0.25μm的过滤膜表面上至少设置1块或1块以上形成了凝胶层的凝胶过滤膜的膜组件12。另外,通过泵14从膜组件12的凝胶过滤膜内抽吸废水。把从过滤装置10得到的高浓度淤浆直接供给各种用途,或通过传送泵16传送至真空冷冻干燥装置20进行干燥,得到粉末。
申请公布号 CN1689684A 申请公布日期 2005.11.02
申请号 CN200510059546.5 申请日期 2005.03.29
申请人 三洋电机株式会社;三洋水能源科技株式会社 发明人 中村崇;柴田悦郎;前田正之;上杉浩之;井关正博;梅泽浩之;对比地元幸
分类号 B01D37/00;F26B5/06;C04B35/622;B24B57/02;H01L21/304 主分类号 B01D37/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 张平元;赵仁临
主权项 1.一种高浓度微粒浓缩物,其把pH调整至3~8的含低浓度微粒的溶液浓缩至1重量%~50重量%的含高浓度微粒淤浆。
地址 日本大阪府