发明名称 |
高浓度微粒浓缩物、高浓度微粒浓缩物制造方法、粉末及粉末制造方法 |
摘要 |
一种粉末制造装置,其由:处理CMP废水的过滤装置10和把通过过滤装置10浓缩至高浓度的淤浆加以干燥的真空冷冻干燥装置20构成,在过滤装置10中,在孔径0.25μm的过滤膜表面上至少设置1块或1块以上形成了凝胶层的凝胶过滤膜的膜组件12。另外,通过泵14从膜组件12的凝胶过滤膜内抽吸废水。把从过滤装置10得到的高浓度淤浆直接供给各种用途,或通过传送泵16传送至真空冷冻干燥装置20进行干燥,得到粉末。 |
申请公布号 |
CN1689684A |
申请公布日期 |
2005.11.02 |
申请号 |
CN200510059546.5 |
申请日期 |
2005.03.29 |
申请人 |
三洋电机株式会社;三洋水能源科技株式会社 |
发明人 |
中村崇;柴田悦郎;前田正之;上杉浩之;井关正博;梅泽浩之;对比地元幸 |
分类号 |
B01D37/00;F26B5/06;C04B35/622;B24B57/02;H01L21/304 |
主分类号 |
B01D37/00 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
张平元;赵仁临 |
主权项 |
1.一种高浓度微粒浓缩物,其把pH调整至3~8的含低浓度微粒的溶液浓缩至1重量%~50重量%的含高浓度微粒淤浆。 |
地址 |
日本大阪府 |