发明名称 具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置
摘要 一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机;上、下电极后部设有为缩小放电范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板;屏蔽板下面附着有为割断进行聚合物镀膜的金属网丝。本发明可减少电极上附着的聚合物以延长电极的使用寿命。
申请公布号 CN1225483C 申请公布日期 2005.11.02
申请号 CN01136319.3 申请日期 2001.10.10
申请人 乐金电子(天津)电器有限公司 发明人 郑永万
分类号 C08F2/52;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56 主分类号 C08F2/52
代理机构 天津三元专利商标代理有限责任公司 代理人 郑永康
主权项 1、一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机;其特征在于所述上、下电极后部设有为缩小放电范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板,所述屏蔽板下面附着有为割断进行聚合物镀膜的金属网丝。
地址 300402天津市北辰区兴淀公路
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