| 发明名称 | 管式抛光压力环 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种管式抛光压力环，其特征在于：所述管式抛光压力环为具有弹性且形成闭环的管，管内充有适量的液体。当所述压力环受压时，在陶瓷板变形的过程中，压力环中的水发生流动而使压力环也发生形变，这样，陶瓷板上的受力只是大小会发生变化，而作用点和力的分布并没有变；从使硅片表面获得较高几何平整度。 | ||
| 申请公布号 | CN2738395Y | 申请公布日期 | 2005.11.02 |
| 申请号 | CN200420112504.4 | 申请日期 | 2004.11.05 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 李耀东;鲁进军;王敬;万关良;张果虎 |
| 分类号 | H01L21/304;B24B37/00 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 耿小强 |
| 主权项 | 1、一种管式抛光压力环，其特征在于：所述管式抛光压力环包括具有弹性且形成闭环的管，管内充有适量的液体。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||