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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100525332(B1) 申请公布日期 2005.11.02
申请号 KR20050050488 申请日期 2005.06.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/32;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/32 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
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