关闭真空室开口的关闭阀和方法

摘要

本发明涉及一种关闭阀，其放置于形成在真空室中的连通口之间，包括外壳，置于外壳中的阀体，该阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，驱动阀体使轴旋转的驱动单元，以及用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构。开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，轴含有与密封空间连通的空气通路。

主权项

1.放置于真空室开口之间的关闭阀，包括：外壳；置于外壳内的阀体，其具有围绕阀体中心轴旋转的轴；驱动阀体以使所述轴旋转的驱动单元；和提供给所述轴的用于开启和关闭真空室的每个开口的开/关机构，其包括：安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出从而关闭每个开口；推动部件，其在轴的径向上向里或向外推动片部件；密封部件，其连接在片部件上，从而与之联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，轴上形成有与密封空间连通的空气通路。