曝光装置和成像设备

摘要

一种曝光装置，其设置具有狭缝的快门件。快门件设置在被扫描件和具有光学透射件的主装置单元的壳体之间。快门件在狭缝与光学透射件相对的开放位置和狭缝与光学透射件不相对的遮断位置之间可自由移动，光束通过光学透射件和狭缝照射到被扫描件。另外，在曝光装置中，凹槽件设置在狭缝下面，至少在快门件移到遮断光束光路的遮断位置的状态，凹槽件的开口部分与狭缝相对。

主权项

1.一种曝光装置，包括具有狭缝的快门件，快门件设置在被扫描件和具有光学透射件的主装置单元的壳体之间，并且在该狭缝与所述光学透射件相对的开放位置和该狭缝与所述光学透射件不相对的遮断位置之间可自由移动，光束通过所述光学透射件和所述狭缝照射到所述被扫描件，其中，凹槽件设置在该狭缝下面，至少在所述快门件移到遮断所述光束光路的遮断位置的状态，所述凹槽件的开口部分与所述狭缝相对。