| 发明名称 |
METHODS OF MAKING CARBON NANOTUBE FILMS, LAYERS, FABRICS, RIBBONS, ELEMENTS AND ARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1590498(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.02 |
| 申请号 |
EP20030815470 |
申请日期 |
2003.01.13 |
| 申请人 |
NANTERO, INC. |
发明人 |
WARD, JONATHAN, W.;RUECKES, THOMAS;SEGAL, BRENT, M. |
| 分类号 |
H01L21/443;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/56;D01F9/12;D01F9/127;H01L21/768;H01L51/00;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
H01L21/443 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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