发明名称 半导体器件制造装置用处理管
摘要 1.主视图与后视图对称,省略后视图。2.本外观设计的产品由透明材料(例如,透明石英)制成。3.本外观设计的处理管产品用于半导体制造。
申请公布号 CN3484414D 申请公布日期 2005.11.02
申请号 CN200430049919.7 申请日期 2004.04.30
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 石井胜利;松浦广行
分类号 23-03 主分类号 23-03
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 柳春雷
主权项
地址 日本东京都