制造电致发光显示装置的方法和形成薄膜的装置

摘要

多个处理腔连接到公共腔(图1中的103)，这些处理腔包括用于氧化的处理腔(107)、用于施用溶液应用的处理腔(108)、用于烘烤的处理腔(109)和用于汽相膜形成的处理腔(110，111)。由于薄膜处理装置的这种结构，能够制造出采用高分子EL材料的EL(电致发光)元件而不接触空气。因此，可以制造出高可靠性的EL显示装置。

主权项

1.一种制造EL显示装置的方法，包括：在衬底上形成第一电极；在该第一电极上施加包含第一EL材料的溶液；加热所施加的包含该第一EL材料的溶液以形成包含该第一EL材料的第一EL层；以及在包含该第一EL材料的第一EL层上形成第二电极，其中上述施加溶液的步骤、加热所施加的溶液的步骤和形成第二电极的步骤在同一装置中执行。