探针痕迹读取装置和探针痕迹读取方法

摘要

该探针痕迹读取装置(1)，读取在半导体晶片(90)所包含的半导体芯片的电极上所形成的探针痕迹，包括：摄像该半导体晶片(90)，作为图像信号(Si)来输出的CCD照相机(20)；将该CCD照相机(20)所应该摄像的对象位置进行光学放大的光学部(21)；光源(30)，通过从提供闪光信号(Sf)的时刻开始仅短时间发光，来照明CCD照相机(20)应该摄像的对象位置；XY工作台(40)，基于马达控制信号(Sm)，向X方向和Y方向可移动地载置半导体晶片(90)，由此改变CCD照相机(20)摄像的对象；计算机(10)，控制它们，在接收所述图像信号(Si)并整理处理后保存该图像。

主权项

1.一种探针痕迹读取装置(1)，在检查具有多个电极(92)的被检查体(91)的电特性时，用于读取在该电极上形成的探针痕迹(937)，该探针痕迹读取装置具有：在该多个电极内，照明摄像对象的电极的照明机构(30)；摄像机构(20)，在其摄像位置(20a)摄像由该照明机构照明的、该至少一个该电极的至少一部分，得到该电极的图像信息，这里，在该摄像机构上，在该摄像位置(20a)，仅在规定时间，至少一个该电极的像提供给该摄像机构；摄像对象位置变更机构(40)，用于将该多个电极中的成为摄像对象的至少一个电极顺序配置到摄像机构的该摄像位置；和存储该摄像机构得到的该图像信息的存储器(10a)。