一种新型热驱动微型执行器

摘要

本发明涉及微机器人技术在细胞操作和分离方面的应用技术，具体地说是一种基于Parylene C聚合材料、可实现液体环境中细胞操作的新型热驱动微执行器；为固定在硅基底上的多悬臂梁结构，每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。其加工工艺采用MEMS平面印刷技术。本发明具有可电热制动效果，parylene C作为热/电/化学隔离材料，可使电阻材料构成的加热器不暴露在液体里，因而具有良好的生物适用性和液体环境适应性；可以在控制温度的方式下实现对细胞的操作和分离，可为细胞的定位探测、注射和测量提供自动化操作应用。

主权项

1.一种新型热驱动微执行器，其特征在于：为固定在硅基底上的多个悬臂梁结构，每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。