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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR100525336(B1)
申请公布日期
2005.11.02
申请号
KR19990006176
申请日期
1999.02.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/8239;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L21/8239
代理机构
代理人
主权项
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