端部操作器、工件传送机器人和传送工件的方法

摘要

本发明公开了一种能够并行处理工件的，带有双操作手端部操作器(108)的机器人。端部操作器(108)包括转动地连接在远端连杆(106)一端的下操作手(250)，以及转动地连接于下操作手(250)的上操作手(252)。下操作手支承着能够使上操作手(252)相对于下操作手(250)转动的驱动组件。在本发明的一个实施例中，带有双操作手端部操作器(108)的机器人可以用在晶片分选机中，以便在分选机中的一对校准器上并行地处理工件。在该实施例中，机器人(100)可以首先从工件盒中的相邻搁架上拾取一对工件；在从工件盒后退之后，端部操作器(108)上的各个操作手可以扇形展开，并将晶片传送到每个校准器的卡盘上；当校准器上的工件处理工作完成之后，展开着的端部操作器的操作手可以重新拾取工件；上操作手(252)可以回到其与下操作手(250)对齐的复位位置；然后将处理过的工件送回到它们原来的盒体中，或送到新的盒体中。与传统的晶片分选机相比，这种并行处理工件的方式显著提高了工作能力。通过为每个校准器中的工件提供缓冲位置，还可以进一步提高工作能力。

主权项

1、一种能够同时支承多个工件的工件传送机器人，它包括：一个基座；一个能够相对于所述基座转动的近端连杆；一个能够相对于所述近端连杆转动的远端连杆；以及一个能够相对于所述远端连杆转动的端部操作器，所述的端部操作器包括能够支承多个工件中的第一工件的第一操作手，和能够支承多个工件中的第二工件的第二操作手，所述的第一操作手能够相对于第二操作手转动。