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发明名称 SELECTIVE BARRIER METAL POLISHING SOLUTION
摘要
申请公布号 EP1590413(A1) 申请公布日期 2005.11.02
申请号 EP20040702975 申请日期 2004.01.16
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. 发明人 LIU, ZHENDONG;BARKER, ROSS, E., II
分类号 C09G1/02;C09K3/14;C23F3/06;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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