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发明名称 PLASMA REACTOR INCLUDING HELICAL ELECTRODES
摘要
申请公布号 EP1590826(A1) 申请公布日期 2005.11.02
申请号 EP20030790426 申请日期 2003.12.09
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 DAVID, MOSES M.;GIFFORD, MICHAEL C.
分类号 C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/26;C03C25/44 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
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