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发明名称 METHOD FOR FORMING CONTACT PLUG OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050104230(A) 申请公布日期 2005.11.02
申请号 KR20040029600 申请日期 2004.04.28
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, SEOK KIU;AHN, TAE HANG;PARK, SUNG EON;CHO, JUN HEE;KIM, YIL WOOK
分类号 H01L21/28;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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