| 发明名称 | 增强载体处理器操作的方法和装置 | ||
| 摘要 | 提供一种载体处理器可适合(1)在载体到达载体处理器管区之前接收载体转送命令；(2)接收终止命令，其导致在前命令被取消或中止而不依赖于在前命令的状态；(3)选择无序执行的排队命令以利用所述选择的命令和/或根据执行命令所需的预计时间利用适合使用的最早到达运送系统载体支持；(4)将空载体移出相关工具以提高端口有效性；(5)连续操作甚至是涉及存储位置的转送失败后通过从不可用位置列表中移走失败的位置；(6)在尝试转送之前用传感器检验载体和转送目标状态传感器数据的完整性；以及(7)利用装配有传感器的校准载体校准运送系统的载体移交。 | ||
| 申请公布号 | CN1689941A | 申请公布日期 | 2005.11.02 |
| 申请号 | CN200510067725.3 | 申请日期 | 2005.02.28 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | 迈克尔·特弗拉;艾米特·普利 |
| 分类号 | B65G49/07;B65G43/00;H01L21/00;H01L21/68 | 主分类号 | B65G49/07 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 康建忠 |
| 主权项 | 1、一种方法，包括：确定载体到达载体处理器的预计到达；在载体到达载体处理器之前，向载体处理器发出预期的载体转送命令。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||