申请人 |
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
PFLUG, ANDREAS, DIPL.-PHYS.;SZYSZKA, BERND. DR.;KASTNER, ALBERT, DIPL.-PHYS.;GEISLER, MICHAEL, DR.;LEIPNITZ, THOMAS, DIPL.-ING.;BRUCH, JUERGEN, DIPL.-ING. |