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经营范围
发明名称
Method for forming shallow trench isolation
摘要
申请公布号
KR100525300(B1)
申请公布日期
2005.11.02
申请号
KR20030095629
申请日期
2003.12.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/762;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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